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- [实用新型]槽体支撑模组-CN201921669976.2有效
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魏杰;林威良;崔正宏
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安徽宏实自动化装备有限公司
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2019-10-08
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2020-05-29
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B25B11/02
- 本实用新型公开了槽体支撑模组,包括定位块、焊接块、支撑块和顶盖,支撑块设置于定位块的上表面,顶盖设置于支撑块的上表面中部,焊接块与定位块之间通过第一螺栓固定连接,定位块和支撑块之间通过第二螺栓固定连接,支撑块和顶盖之间通过螺钉固定连接;本实用新型针对半导体湿式制程中槽体支撑方式的改进,利用各部件之间的移动与配合,从而实现槽体在一定范围内的上下、左右、前后的调整的目的,不仅可以在一定范围内对槽体位置进行调整,提高其精确度,而且可以使槽体有效应对多方面的干扰,适应性强,并方便工作人员的后期工作;顶盖和支撑块之间通过螺钉,便于拆卸,从而方便槽体的安装。
- 支撑模组
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